Ein neuer Standard in der Chipproduktion
Grüner Wasserstoff hält Einzug in die Halbleiterindustrie – und verbindet Klimastrategie, technische Reinheitsanforderungen und Versorgungssicherheit zu einem neuen industriellen Standard.
Ein Vorzeigeprojekt dafür ist das Infineon-Werk in Villach, wo gemeinsam mit Linde eine 2-Megawatt-Elektrolyseanlage errichtet wurde. Seit August 2025 deckt sie den gesamten Wasserstoffbedarf direkt am Standort.
Der Wasserstoff wird mittels Elektrolyse aus erneuerbarem Strom gewonnen und ersetzt den zuvor per Lkw gelieferten grauen Wasserstoff aus fossilen Quellen. Dadurch werden CO₂-Emissionen reduziert, Transportrisiken eliminiert und die Versorgungssicherheit langfristig gestärkt
Ultra-High-Purity: Technologische Präzision auf höchstem Niveau
Nach der Elektrolyse wird der Wasserstoff in mehrstufigen Reinigungsprozessen weiter aufbereitet, um jede Spur von Verunreinigung zu vermeiden. Schon winzige Partikel oder Gase könnten die elektrischen Eigenschaften der Chips verändern und kostspielige Ausschussware verursachen.
Einsatzgebiete in der Waferproduktion
- Beim Glühen (Annealing) bei rund 1.000 °C, um Oxide zu entfernen.
- In der Epitaxie, wo Wasserstoff als Reduktionsmittel dient, um hochreine Schichten aufzubringen.
- In Abscheidungsprozessen, um die chemische Umgebung stabil zu halten.
- Zur Stabilisierung von Prozesschemikalien, um deren Reinheit konstant zu sichern.
Der Verbrauch pro Chip ist gering, doch die Prozessqualität hängt entscheidend von der Reinheit und Zuverlässigkeit des eingesetzten Wasserstoffs ab.
Nachhaltigkeit als strategische Entscheidung
- Für Infineon war der Umstieg auf grünen Wasserstoff nicht nur ein technischer Schritt, sondern auch eine strategische Investition in Nachhaltigkeit und Resilienz.Der Jahresbedarf in Villach liegt bei rund 290 Tonnen Wasserstoff – genau jene Menge, die die neue Anlage vor Ort produziert. Damit entfällt die Abhängigkeit von externen Zulieferungen vollständig. Seit Mitte 2025 läuft die Produktion stabil, und die Fertigung wurde schrittweise vollständig auf grünen Wasserstoff umgestellt.
Wirtschaftlichkeit und Klimavorteile im Gleichgewicht
- Klimaneutralität und Erfüllung der eigenen CO₂-Ziele.
- Unabhängigkeit von globalen Lieferketten.
- Langfristige Versorgungssicherheit.
Zwar ist grüner Wasserstoff aktuell noch teurer als fossiler, doch die Kostenwirkung pro Chip bleibt moderat. Gleichzeitig steigen Qualität, Sicherheit und Nachhaltigkeit – ein Dreiklang, der in der Hightech-Industrie immer stärker an Bedeutung gewinnt.
Wachsende Märkte für ultra-reinen Wasserstoff
Mit dem globalen Ausbau der Halbleiterproduktion, getrieben durch Digitalisierung, Elektromobilität und künstliche Intelligenz, wird der Bedarf weiter steigen. Skaleneffekte und technologische Fortschritte in der Elektrolyse werden künftig auch die Kosten reduzieren.
Qualitätssicherung als Erfolgsfaktor
- Im Hydrogen Portfolio konzentrieren wir uns auf Technologien, Infrastrukturen und Geschäftsmodelle, die Wasserstoff als nachhaltigen Energieträger nutzbar machen.
- Im Green Tech Portfolio liegt der Fokus auf industriellen Anwendungen, die ökologische Verantwortung mit technologischer Exzellenz verbinden.
Die Nutzung von grünem Wasserstoff in der Halbleiterproduktion vereint diese beiden Welten – sie zeigt, wie Dekarbonisierung und Digitalisierung gemeinsam neue industrielle Maßstäbe setzen können.
Politische Rahmenbedingungen als Beschleuniger
Grüner Wasserstoff ist mehr als ein Energieträger – er ist ein zentraler Prozessrohstoff der Zukunft.
Infineon und Linde haben in Villach den Startschuss gegeben – ein Beispiel, das zeigt, wie Nachhaltigkeit, Technologie und Wettbewerbsfähigkeit Hand in Hand gehen.
Fazit
Was heute in Villach Realität ist, könnte morgen weltweit zum Benchmark für eine nachhaltige, sichere und zukunftsorientierte Chipproduktion werden – und damit beispielhaft zeigen, wie Green Tech und Hydrogen gemeinsam den industriellen Wandel prägen.
Empfehlenswerte Quellen
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Green hydrogen in semiconductor manufacturing (H2 View) – ein aktueller Überblick zu grünem Wasserstoff in der Halbleiterindustrie. h2-view.com
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Sustainable hydrogen supply for Infineon Austria (Infineon AG) – konkrete Fallstudie zur 2 MW-Elektrolyseanlage am Standort Villach. infineon.com+1
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Hydrogen Gas: Revolutionizing Semiconductors and Clean Energy (Entegris Blog) – technische Einblicke in Ultra-High-Purity Wasserstoff und Prozessgas-Anwendungen in der Chipfertigung. blog.entegris.com
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Hydrogen in electronics: Growing applications and consumption (Linde PDF) – Hintergrundpapier zur Rolle von Wasserstoff in der Elektronik- und Halbleiterfertigung. assets.linde.com